訂閱
糾錯
加入自媒體

半導體工廠(chǎng)有毒有害/易燃易爆氣體監測傳感器解決方案

由于美國調整芯片出口規則,中國對芯片國產(chǎn)化的重視程度越來(lái)越高,并定下了2025年將芯片自給率提高到70%的目標,國內半導體行業(yè)也掀起了投資熱潮。近年來(lái),隨著(zhù)國家的對于集成電路產(chǎn)業(yè)的重視以及資本的支持,國內的集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,但是與國外仍有不小的差距,特別是在上游的半導體材料等領(lǐng)域,更是差距巨大。不過(guò),隨著(zhù)國內半導體制造的崛起,也推動(dòng)了半導體材料的國產(chǎn)化進(jìn)程。雖然目前各大主要品類(lèi)的半導體材料領(lǐng)域均有國內企業(yè)涉足,但整體對外依存度仍在 60%以上,特別是大尺寸半導體硅片、光刻膠、電子特氣等材料更為依賴(lài)進(jìn)口,進(jìn)口替代空間巨大。除技術(shù)難題外,還有一個(gè)阻絆我們半導體制造的崛起的難題:在芯片制程中要使用到極高毒性,腐蝕性及易燃性氣體、液體和大量可燃性塑材。

在目前工藝技術(shù)較為先進(jìn)的半導體晶圓代工廠(chǎng)的制造過(guò)程中,全部工藝步驟超過(guò)450道,其中大約要使用50種不同種類(lèi)的氣體。一般把氣體分為大宗氣體和特種氣體兩種。大宗氣體一般是指集中供應且用量較大的氣體,特種氣體主要有各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體以及其他廣為各種制程設備所使用的惰性氣體等。

如沉積工藝中作為所用的NH3氨氣、O2氧氣等,

光刻時(shí)常用的H2氫氣等,

刻蝕時(shí)常用的HCL氯化氫、Cl2氯氣、F2氟氣等。

熱處理時(shí)常用的O2氧氣和H2氫氣等。

腔室清洗時(shí)常用的鹵化物HCI氯化氫、Cl2氯氣、HF氟化氫、HBr溴化氫和O2氧氣等以及離子注入法作為n型硅片離子注入磷源、砷源的PH 3磷化氫和AsH3砷化氫等。

從以上的應用可以看出,氣體在半導體晶圓代工廠(chǎng)有著(zhù)非常重要的作用。因為各種氣體的特性不同,所以要設計出不同的氣體來(lái)滿(mǎn)足各種不同制程的需求。

半導體制造業(yè)所使用的特種氣體一般按其使用時(shí)的特性,可分為易燃性氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體、惰性氣體和氧化性氣體五大類(lèi)。

隋性氣體本身一般不會(huì )直接對人體產(chǎn)生傷害,在氣體傳輸過(guò)程中,相對于安全上的要求不如以下其他氣體嚴格。惰性氣體具有窒息特性,不開(kāi)闊空間下發(fā)生少量泄漏不會(huì )使人窒息而造成工傷事故;

易燃性氣體一般指可發(fā)生自燃、易燃的可燃氣體。當環(huán)境溫度達到一定時(shí),PH3等氣體也會(huì )產(chǎn)生自燃?扇家兹細怏w都有一定的著(zhù)火燃燒爆炸范圍,即上限、下限值。此范圍越大的氣體起爆炸燃燒危險性就越高,屬于易燃氣體有H2,NH3,PH3, 等等;

毒性氣體是指在半導體制造行業(yè)中使用的氣體很多都是對人體有害、有毒的。如PH3、NH3、HCL、CL2、AsH3、CO等氣體在工作環(huán)境中的允許濃度極微,因此在貯存、輸送以及使用的過(guò)程中都要求特別的小心。一般都應該采取特定的技術(shù)措施來(lái)控制使用這些氣體;

腐蝕性氣體通常同時(shí)也兼有較強的毒性。腐蝕性氣體在干燥狀態(tài)下一般不易侵蝕金屬,但在遇到水的環(huán)境下就顯示出很強的腐蝕性,如HCl, HF, 等;

氧化性氣體有較強的氧化性,一般同時(shí)具有其他特性,如毒性或腐蝕性等。屬于這類(lèi)的氣體有ClF3 ,Cl2,NF3等。

半導體制造業(yè)被美國(FMS)組織列為”極高風(fēng)險”的行業(yè)。主要是因為它在制程中要使用到極高毒性,腐蝕性及易燃性氣體、液體和大量可燃性塑材,再加上無(wú)塵室的密閉作業(yè)環(huán)境及回風(fēng)系統,所有這些因素都大大增加了半導體廠(chǎng)房的風(fēng)險。作為半導體晶圓代工廠(chǎng)氣體的使用者,每一位工作人員都應該在使用前對各種危險氣體的安全數據加以了解,并且應該知道如何應對這些氣體外泄時(shí)的緊急處理程序。一般來(lái)講,我們將有三重保障來(lái)防范萬(wàn)一有意外發(fā)生的危險氣體外泄進(jìn)入到工作環(huán)境中。一個(gè)是特種氣體的氣瓶以及全部經(jīng)過(guò)正負壓測漏的氣體輸送管路;第二個(gè)是持續不斷的排氣抽風(fēng)系統(Exhaust),管路節點(diǎn)如氣瓶柜、VMB、工作臺等均具有很強排氣抽風(fēng)系統,以確保每一管路節點(diǎn)外圍都處于負壓環(huán)境。若發(fā)生微量的有毒氣體的泄漏,排氣抽風(fēng)系統將第一時(shí)間抽出。另外一個(gè)很重要的是:根據現行國家標準《特種氣體系統工程技術(shù)規范》GB50646-2011《有毒氣體檢測報警儀技術(shù)條件及檢驗方法》HG23006中的有關(guān)規定,同時(shí)結合半導體工廠(chǎng)使用氣體檢測裝置產(chǎn)品的快速響應要求作出檢測報警響應時(shí)間規定。要求處于抽風(fēng)口或環(huán)境點(diǎn)安裝毒性氣體偵測器及系統,若發(fā)生任何有毒氣體的泄漏將會(huì )被氣體偵測系統所偵測到,這個(gè)控制系統將根據氣體外泄對人體危害的大小來(lái)確定整個(gè)氣體輸送系統的相關(guān)互鎖動(dòng)作,嚴重時(shí)緊急關(guān)閉上游所有氣源,同時(shí)會(huì )驅動(dòng)中央控制室和現場(chǎng)的相關(guān)報警系統LAU,甚至會(huì )驅動(dòng)全廠(chǎng)的自動(dòng)語(yǔ)音廣播系統通知立即疏散,要求相關(guān)人員迅速撤離報警區域。因此只要工程技術(shù)人員嚴格按照所制定的標準作業(yè)程序操作,所有這些安全裝置都將確保人員不會(huì )有安全上的顧慮。

工采網(wǎng)提供監測一氧化碳CO、氨氣NH3、氧氣O2、氯化氫HCL、氯氣CL2、氟化氫HF、磷化氫PH3和氫氣H2等有毒有害/易燃易爆氣體傳感器,是針對半導體制造業(yè)毒氣監測應用的專(zhuān)業(yè)級傳感器產(chǎn)品,傳感器壽命長(cháng),可長(cháng)時(shí)間穩定持續監測,可大大降低半導體制造業(yè)毒氣監測成本,實(shí)現大范圍安裝應用,為半導體制造業(yè)毒氣監測提供了切實(shí)可行的安全生產(chǎn)監測解決方案。

具體產(chǎn)品如下:

半導體工廠(chǎng)有毒有害/易燃易爆氣體監測傳感器解決方案

       原文標題 : 半導體工廠(chǎng)有毒有害/易燃易爆氣體監測傳感器解決方案

聲明: 本文由入駐維科號的作者撰寫(xiě),觀(guān)點(diǎn)僅代表作者本人,不代表OFweek立場(chǎng)。如有侵權或其他問(wèn)題,請聯(lián)系舉報。

發(fā)表評論

0條評論,0人參與

請輸入評論內容...

請輸入評論/評論長(cháng)度6~500個(gè)字

您提交的評論過(guò)于頻繁,請輸入驗證碼繼續

暫無(wú)評論

暫無(wú)評論

文章糾錯
x
*文字標題:
*糾錯內容:
聯(lián)系郵箱:
*驗 證 碼:

粵公網(wǎng)安備 44030502002758號